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由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有极强的能量平衡性，在粒子撞击中失能，uv等离子催化一体机价格，所以低温等离子体作为原子激发是 理想的一种能。

一般气体放电产生的等离子体属于低温等离子体。低温等离子体中含有大量高能电子、离子、激发态粒子和具有很强氧化性能的自由基(如oh，uv等离子催化一体机，o) 。

低温等离子体主要是由气体放电产生的。根据气体放电的机理，气体的压强范围、电源性质以及电极的几何形状、气体放电等

利用高能高臭氧uv紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。

由于采样物种与周围粒子及采样器壁的多次碰撞，只能 用于对稳定物种进行诊断研究。而近年兴起的分子束质谱技术由于采用分级抽气的采样方式可使数十torr乃至常压体系中的活性物种在近无碰撞条件下直接飞入 质谱进行分析而成为一种强有力的等离子体活性物种诊断手段。